Fine Monitor
(モニタリングシステム)
検査装置のオプション機器です。検査装置で検出した欠陥座標情報を下流の「Fine Monitor」に転送し、専用カメラ(カラーorモノクロ)にて、拡大画像「分解能5μm程度」を取得します。これにより、欠陥発生原因の特定、工程管理の精度Upが実現できます。
拡大画像例(Fine Monitorモノクロカメラ)
検査装置での取得画像 | Fine Monitorでの取得画像 | ||
---|---|---|---|
カメラ | ラインセンサーカメラ(モノクロ) | カメラ | Fine Monitor専用カメラ(モノクロ) |
分解能 | 50 × 50μm | 分解能 | 5 × 5μm |
画像サイズ | 512 × 512 pixel | 画像サイズ | 512 × 512 pixel |
拡大画像例(Fine Monitorカラーカメラ)
検査装置での取得画像 | Fine Monitorでの取得画像 | ||
---|---|---|---|
カメラ | ラインセンサーカメラ(モノクロ) | カメラ | Fine Monitor専用カメラ(カラー) |
分解能 | 50 × 50μm | 分解能 | 5 × 5μm |
画像サイズ | 512 × 512 pixel | 画像サイズ | 512 × 512 pixel |
特長
- Fine Monitorは、検査装置の制御盤から制御(条件調整)可能
- 検査装置の開始・停止に同期した自動運転が可能
- 検査装置の保存データとFine Monitorの履歴を結合し、検査履歴データから拡大画像の参照/対比が可能
- Fine Monitorは、カラーカメラの接続が可能
- Fine Monitorで取得した画像による欠陥分類が可能(カラーカメラ使用時は、色調による分類にも対応)
スペック
カメラ |
|
---|---|
カメラI/F | CL |
カメラ接続可能台数 | 最大8台 |
照明装置 | LED照明 |
標準機能 | 欠陥同時発生時の撮像優先ランク機能 |
オプション/その他
- 製品巾に合わせた、カメラトラバース機構の設計製作
- リアルタイム画像分類機能との連動