欠陥分類機能
検出した欠陥の検出特徴量から欠陥種類を分けることができます。
また、分類した各欠陥毎に、表示・出力方法等の設定が可能となります。
欠陥分類方法
- STEP01
光学系単位で分類
- STEP02
処理系列単位で分類
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- 通常処理（暗欠陥 or 明欠陥 or 暗＋明）
- 2DF処理（暗欠陥 or 明欠陥 or 暗＋明）
- STEP03
特徴量で分類
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- 面積
- 幅
- 長さ
- 縦横比
- 面積率
- 平均濃度
- ピーク濃度
- STEP04
ランク判定(優先度)毎に、アウトプット方法を選択
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- データ出力可否
- NG出力可否 等
再測定/再分類
検査履歴データはデータシミュレーションが可能です
- 閾値や2DF ブロックサイズ等を変更し、検査ロット単位での再測定結果が出力できます。
- 分類条件（面積、幅、長さ等）を変更し、検査ロット単位での再分類結果が出力できます。また、欠陥分類の条件調整等にも活用できます。
分類アシスト機能
検出した欠陥情報を使用し、自動で欠陥分類条件を作成することができます。
画像分類機能
検出した欠陥の画像を、画像解析し、より目視に近い分類を行うことができます。