照明装置
自社開発のLED照明装置、光ファイバー照明(LED光源)等を駆使し、ターゲット欠陥のコントラストを向上させます。また、照明装置への特殊加工(エッジ光学系用スリット、散乱光学系用ストライプ、クロスニコル検査制御等)も対応可能です。また、照明装置に移動(切替)機構を付加し、複数品種への検査対応、省スペース化も実現できます。
LED照明
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| 高輝度タイプ（MLDHBシリーズ） | ノーマルタイプ（MLDNAシリーズ） | スリムタイプ（MLDSシリーズ） |
光ファイバー照明（クロスファイバー、ストレートファイバー）
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| 光源 | LED、ハロゲン |
ロッド照明RDNシリーズ
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| 光源 | ハロゲン |
高周波点灯蛍光灯照明
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