金属板Metal・Metalic foil

キズ欠陥は外的要因で発生する欠陥です。反射光学系にて検出が可能です。

凹凸欠陥は外的要因で発生する欠陥です。弱い凹凸の場合、照明側へ特殊なフィルタを取付けるケースがあります。反射光学系にて検出が可能です。

汚れは外的要因で発生する欠陥です。検出例ではスジ状の汚れが斜めに発生しておりますが、形状は様々です。散乱光を用いた透過又は反射光学系にて検出が可能です。