モニタリングシステムFine Monitor
検査装置のオプション機器です。
検査装置で検出した欠陥座標情報を下流の「Fine Monitor」に転送し、専用カメラ（カラーorモノクロ）にて、拡大画像「分解能5μm程度」を取得します。これにより、欠陥発生原因の特定、工程管理の精度Upが実現できます。
拡大画像例Fine Monitorモノクロカメラ
| 検査装置での取得画像 | |
|---|---|
| カメラ | ラインセンサーカメラ(モノクロ) |
| 分解能 | 50 × 50μm |
| 画像サイズ | 512 × 512 pixel |
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| Fine Monitorでの取得画像 | |
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| カメラ | Fine Monitor専用カメラ（モノクロ) |
| 分解能 | 5 × 5μm |
| 画像サイズ | 512 × 512 pixel |
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特長
- Fine Monitorは、検査装置の制御盤から制御（条件調整）可能
- 検査装置の開始・停止に同期した自動運転が可能
- 検査装置の保存データとFine Monitorの履歴を結合し、検査履歴データから拡大画像の参照/対比が可能
- Fine Monitorは、カラーカメラの接続が可能
- Fine Monitorで取得した画像による欠陥分類が可能（カラーカメラ使用時は、色調による分類にも対応）
スペック
| カメラ | 専用ラインセンサーカメラ 画素数：512、1024 |
|---|---|
| カメラI/F | CL |
| カメラ接続可能台数 | 最大8台 |
| 照明装置 | LED照明 |
| 標準機能 | 欠陥同時発生時の撮像優先ランク機能 |
オプション・その他
- 製品巾に合わせた、カメラトラバース機構の設計製作
- リアルタイム画像分類機能との連動